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MEMS流量傳感器-MSH01
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MEMS流量傳感器
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1
產品描述
參數
- 寬量程比>300:1
- 響應速度快<5ms
- 超低啟動流量 <0.05m/s
- 高靈敏度高精度 高于+/-3%讀數精度
- 不可動部件,可靠性高
- 適用于潔凈氣體和液體
- 醫療呼吸、診斷設備
- 燃料電池控制
- 汽車空氣流量計
- 家用燃氣設備
- 氣相、液相色譜質譜分析儀
- HVAC
- 檢漏儀
- 工業自動化
參數 | 描述 | 條件 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 單位 |
量程 | 氣體測量范圍 | 1tam,環境溫度25°C | 0.01 | 35 | m/s | |
RA | 空氣溫度傳感器電阻 | 管腳1和5,+25°C | 1440 | 1600 | 1760 | ? |
RH | 加熱器溫度電阻 | 管腳6和7,+25°C | 90 | 100 | 110 | ? |
RHT | 加熱器溫度傳感器電阻 | 管腳5和8,+25°C | 540 | 600 | 660 | ? |
RUE | 上游外側溫度傳感器電阻 | 管腳3和4,+25°C | 1260 | 1400 | 1540 | ? |
RUI | 上游內側溫度傳感器電阻 | 管腳2和12,+25°C | 1080 | 1200 | 1320 | ? |
RDI | 下游內側溫度傳感器電阻 | 管腳11和12,+25°C | 1080 | 1200 | 1320 | ? |
RDE | 下游外側溫度傳感器電阻 | 管腳9和10,+25°C | 1260 | 1400 | 1540 | ? |
TCR | 金屬薄膜TiPt電阻溫度系數 | 0°C~140°C | 0.285 | 0.302 | 0.330 | %/°C |
RH極限電流 | 無氣流,環境溫度25°C | 管腳5和6 | - | - | 20 | mA |
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MEMS流量傳感器-MSL01
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